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エアーフローセンサ
特長
半導体シリコン圧電素子2個とヒーターの組み合わせにより直接流体を測定しますので、高い精度で、高速検知できます。
30cc/min or 200cc/minクラスで、ヒステリシスエラー最高±0.35% reading 、応答性typ 1ms,max 3ms
1L/min 〜 20L/minクラスで、ヒステリシスエラー±0.5% reading 、応答性 max 60ms
30cc/min 〜 200L/minまで計測をシリーズ化。
媒体ガス 窒素(N2) 酸素(O2) 空気・ 一酸化窒素(NO) 一酸化炭素(CO)
ヘリウム(He) 水素(H2) アルゴン(Ar) メタン(CH4) アンモニア(NH2
亜酸化水素(N2O) 二酸化窒素(NO2) 二酸化炭素(CO21)1
注)エアーフローセンサは、湿気を嫌いますので、ドライエアーの状態で御使用ください。
レーザートリミングにより、高い互換性
    AWM2150V = ±0.35% reading ±30sccm(アンプ非内蔵)
    AWM3100V = ±0.35% reading +200sccm(アンプ内蔵)
    AWM5104VA = ±0.50% reading +20SLPM(アンプ内蔵)

応用分野 アプリケーション モデル
エアークリーナ フィルター部のエアーフロー感知、汚れ検知 AWM3100V
コンピューターキャビネットのクリーニング監視
二酸化炭素、 AWM5104VN
アルゴンガス、二酸化炭素、 AWM5101VA
窒素等のガス分析 AWM3100V
医療用 CO2検知用 AWM3100V
室内空気圧調整 クリーンルーム/実験室の室内圧 AWM3100V

シリーズ概略
AWM2000シリーズ
AWM3000シリーズ
エアーフローセンサAWM2000 フローレンジ ±30sccm,±200sccm,±1,000sccm,
3000シリーズ=アンプ内蔵、2000シリーズ=アンプ
非内蔵
サイズL54.4mm×W31.5mm×H15.5mm
重さ=10.8g
Shock=100g peak(5 drops,6 axes)
AWM40000シリーズ
エアーフローセンサAWM40000 フローレンジ ±25sccm,+1,000sccm
(1SLPM),+6SLPM
±25sccm type=アンプ非内蔵、+1,000sccm type=アンプ内蔵・非内蔵
+6SLPM type=アンプ内蔵
サイズL36.8mm×W30.2mm×H15.7mm
重さ=11g〜14g
Shock=100g peak(5 drops,6 axes)
AWM5000シリーズ
エアーフローセンサAWM5000 ベンチュリー形ケースで、最大20L/minの流量を測定。
流量に対して出力は、リニアにでます。
フローレンジ 0 to 5SLPM/10SLPM/15SLPM/20SLPM。
各モデル=アンプ内蔵/温度補正機能付
サイズL36.8mm×W30.2mm×H15.7mm
重さ=60g
Shock=100g peak(5 drops,6 axes)
個別のガス校正タイプ
-VN:窒素/酸素/空気/一酸化窒素/一酸化炭素
-VC:二酸化炭素/亜酸化水素/二酸化窒素/
-VA:アルゴン
AWM700シリーズ
エアーフローセンサAWM700 フローレンジ ±25sccm,+1,000sccm
アンプ内蔵
サイズL W37mm×H33.8mm
重さ=60g
Shock=100g peak(5 drops,6 axes)

Zephyr™  Air Flow Sensor
特長
高速応答時間 1ms(標準) エアーフローセンサZephyr
低電圧・低消費電流3.3V or 5V,16mA max
デジタル出力(I2C)
留め具 or スナップ式の取り付け
ロング or ショートのポートスタイル
キャリブレーションおよび温度補正済
HAF-高精度デジタル出力
フローレンジ50-750SCCM
Total Error Band ±2.25%の範囲内(流量に依存)
補償温度範囲0℃〜50℃
アプリケーション
・麻酔送出システム ・酸素濃縮器 ・無呼吸睡眠症候群治療装置
・ベンチレーター ・ガスクロマトグラフィー ・呼吸器モニター など